高純氣體的凈化，不僅要了解純化劑和純化裝置的性能及作用，而且還應掌握合理的凈化方法和科學工藝凈化流程，方能達到純化氣體的目的。通常將氣體純化操作過程，稱作氣休凈化工藝。除去氣體中的雜質常用的凈化方法有塵埃濾除法、水氣干燥法、選擇吸附法、催化反應法、吸收法、金屬吸氣法和純化裝置提純法等。對于特種氣體的凈化，有精餾法、吸附精餾法、絡合法、水解法、預熱分解法、固體吸附法、激光純化法和樹脂凈化法等。
   在氣體凈化工藝中，合理的選擇純化劑、催化劑、干燥劑和純化裝置，凈化系統的正確組合及安裝，采取先進的凈化方法和合理的凈化工藝流程，掌握凈化原則和操作要點及運行管理等，這一系列的工作是制備高純氣體的關鍵，是直接關系到氣體凈化質量的重大措施。